pld牛人请进，用pld长薄膜为什么会掉下来呢 - 功能材料 - 功能薄膜 - 第3页小木虫论坛-学术科研互动平台

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期待钝化

银虫 (小有名气)

应助: 7 (幼儿园)
金币: 517.2
散金: 10
帖子: 115
在线: 59.3小时
虫号: 1670958
注册: 2012-03-06
性别: GG
专业: 半导体材料

引用回帖:

18楼: Originally posted by tingtingzhang at 2012-12-07 19:16:21
可以考虑沉积过程中降低一下激光的频率及脉冲能量，让成膜速率慢一些。试一下吧，毕竟不同的材料也不一样。

你做实验时也发现这个问题了吗》？？

everythingispossible!

21楼2012-12-08 12:12:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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