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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD 沉积薄膜
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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[求助] PLD 沉积薄膜

通过PLD在同样材料的单晶和多晶基底上生长薄膜材料，发现同样的操作条件，在多晶基底上沉积得到的薄膜的XRD结果和靶材的XRD是一样的，但是在单晶基底上得到的XRD的峰和靶材的峰没有一个能匹配上。也尝试过不同的单晶基底，但通常只有在61-62之间会有一个很强的峰(也不属于靶材)，请教这是原因啊？

xrd.JPG
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1楼 2013-03-15 13:39:45
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-16 02:38:53
除了MgO我没试过外，这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的？...

下面是我在75 mTorr 时的plume的形貌，还有就是当我把分压降到20 mTorr左右时靶材发射出来的羽辉是非常大，看不到图中亮光聚集的感觉，不知道有经验的前辈的操作参数如何，羽辉如何，请赐教，非常感谢

plume.jpg
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9楼2013-03-16 11:11:28
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wu1008

金虫 (著名写手)
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-16 09:04:24
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2013-03-15 16:04:58
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

不好意思啊，帖子修改不了，我是在LAO（001）,STO（001）,MgO（001）上长了SDC(就是Sm0.2Ce0.8Ox)，谢谢啊
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3楼2013-03-15 22:51:24
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料，用什么基片？
什么东西都没有，你期望有什么回复？

还用到的单晶和多晶的基片是8YSZ，就是8 mol%氧化钇稳定的氧化锆
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4楼2013-03-15 22:57:03
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