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cdj2593

木虫 (正式写手)

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[求助] PLD 沉积薄膜

通过PLD在同样材料的单晶和多晶基底上生长薄膜材料,发现同样的操作条件,在多晶基底上沉积得到的薄膜的XRD结果和靶材的XRD是一样的,但是在单晶基底上得到的XRD的峰和靶材的峰没有一个能匹配上。也尝试过不同的单晶基底,但通常只有在61-62之间会有一个很强的峰(也不属于靶材),请教这是原因啊?

xrd.JPG
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
6楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-16 02:38:53
除了MgO我没试过外,这几个基片上长外延的CeO2都是很简单的
长你这个材料应该不难
你的沉积参数和XRD的结果是怎么样的?...

下面是我在75 mTorr 时的plume的形貌,还有就是当我把分压降到20 mTorr左右时靶材发射出来的羽辉是非常大,看不到图中亮光聚集的感觉,不知道有经验的前辈的操作参数如何,羽辉如何,请赐教,非常感谢

plume.jpg

9楼2013-03-16 11:11:28
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wu1008

金虫 (著名写手)

zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-16 09:04:24
长什么材料,用什么基片?
什么东西都没有,你期望有什么回复?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-03-15 16:04:58
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料,用什么基片?
什么东西都没有,你期望有什么回复?

不好意思啊,帖子修改不了,我是在LAO(001),STO(001),MgO(001)上长了SDC(就是Sm0.2Ce0.8Ox),谢谢啊
3楼2013-03-15 22:51:24
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cdj2593

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-03-15 16:04:58
长什么材料,用什么基片?
什么东西都没有,你期望有什么回复?

还用到的单晶和多晶的基片是8YSZ,就是8 mol%氧化钇稳定的氧化锆
4楼2013-03-15 22:57:03
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