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直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
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| NiFe靶厚度3mm直径100mm，用射频源能起辉但辉光很弱，改用直流源却不能正常起辉，是什么原因啊？ |
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2楼2012-08-04 13:03:07
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