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aitudou

铁虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊?

NiFe靶厚度3mm直径100mm,用射频源能起辉但辉光很弱,改用直流源却不能正常起辉,是什么原因啊?
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)

关注~
nofear
2楼2012-08-04 13:03:07
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 感谢交流,你的专业这么独特? 2012-08-04 20:10:26
aitudou: 金币+10, ★★★很有帮助, 1mm的可以用了 2012-08-12 16:16:35
一个可能是厚度太厚
另一个,可能是你们电极的磁体比较弱,磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚
3楼2012-08-04 15:49:55
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aitudou

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-08-04 15:49:55
一个可能是厚度太厚
另一个,可能是你们电极的磁体比较弱,磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚

嗯,有可能是厚度太厚了的,只有先试试薄一点的了,但愿可以用。
4楼2012-08-04 16:54:26
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


你采用的是铁磁性靶,靶材的厚度和设备的磁场强度直接关系您的溅射产额。如果您的设备磁场设计没有特殊要求,这么大的靶材,厚度要薄些。一般3mm左右没有问题,如果还不行,设备的磁场要考虑下。
5楼2012-08-28 19:20:31
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alwayslove

银虫 (小有名气)

应该是太厚的原因,我们也是溅射NiFe,可能也是磁场太弱,只有1.1mm厚的能起辉,其他的厚一点的都起不了辉。
6楼2013-06-06 09:45:11
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huihui2eat

银虫 (小有名气)

镍铁是磁性靶,靶材的厚度和设备的磁场强度有关系,一般磁性的都做的很薄,像我们从中诺新材做的钴,镍靶材都是1mm和1.5mm的,做太厚了确实不容易起辉,刚开始没听商家建议,直接做了个80*6mm的,可是把我坑惨了,又寄回去重新做的,太耽误事了,还是做薄点好,商家毕竟经常做,一些建议还是要听的~~
7楼2014-07-14 14:23:00
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caoxiaobinth

新虫 (初入文坛)

请问靶材最薄能够做到多少mm?
8楼2015-01-23 22:37:04
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