应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
51/1返回列表
查看: 3073  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

aitudou

铁虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？

NiFe靶厚度3mm直径100mm，用射频源能起辉但辉光很弱，改用直流源却不能正常起辉，是什么原因啊？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

PVD镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2012-08-03 16:45:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 感谢交流，你的专业这么独特？ 2012-08-04 20:10:26
aitudou: 金币+10, ★★★很有帮助, 1mm的可以用了 2012-08-12 16:16:35
一个可能是厚度太厚
另一个，可能是你们电极的磁体比较弱，磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2012-08-04 15:49:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

aitudou

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-08-04 15:49:55
一个可能是厚度太厚
另一个，可能是你们电极的磁体比较弱，磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚

嗯，有可能是厚度太厚了的，只有先试试薄一点的了，但愿可以用。
赞一下 回复此楼
4楼2012-08-04 16:54:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
你采用的是铁磁性靶，靶材的厚度和设备的磁场强度直接关系您的溅射产额。如果您的设备磁场设计没有特殊要求，这么大的靶材，厚度要薄些。一般3mm左右没有问题，如果还不行，设备的磁场要考虑下。
赞一下 回复此楼
5楼2012-08-28 19:20:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

alwayslove

银虫 (小有名气)
应该是太厚的原因，我们也是溅射NiFe，可能也是磁场太弱，只有1.1mm厚的能起辉，其他的厚一点的都起不了辉。
赞一下 回复此楼
6楼2013-06-06 09:45:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 4/200 2026-09-29 09:49 by JzYBbHIXWSrW
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +5 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-29 09:24 by JzYBbHIXWSrW
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 09:18 by JzYBbHIXWSrW
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:42 by ZvyPK8n6Nfki
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:34 by ZvyPK8n6Nfki
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:28 by ZvyPK8n6Nfki
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:18 by ZvyPK8n6Nfki
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:46 by b8fCuTHqckEt
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 4/200 2026-09-28 23:19 by b8fCuTHqckEt
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:12 by b8fCuTHqckEt
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[有机交流] 同一个分子，一条来自文献，一条来自AI——不告诉你答案，你会选哪条？ +3 tianxiaoxian 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:44 by tianxiaoxian
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:28 by ez6fGg9abYaj
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 3/150 2026-09-28 22:21 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-28 19:08 by 9lS3ad5oOymn
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
[教师之家] 某top大学教授说“能够在市场中兑现的能力才是真能力”无比同意！ +7 zju2000 2026-09-26 8/400 2026-09-28 16:42 by beefly
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭