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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？
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aitudou

铁虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？

NiFe靶厚度3mm直径100mm，用射频源能起辉但辉光很弱，改用直流源却不能正常起辉，是什么原因啊？
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1楼 2012-08-03 16:45:46
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huihui2eat

银虫 (小有名气)
镍铁是磁性靶，靶材的厚度和设备的磁场强度有关系，一般磁性的都做的很薄，像我们从中诺新材做的钴，镍靶材都是1mm和1.5mm的，做太厚了确实不容易起辉，刚开始没听商家建议，直接做了个80*6mm的，可是把我坑惨了，又寄回去重新做的，太耽误事了，还是做薄点好，商家毕竟经常做，一些建议还是要听的~~
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7楼2014-07-14 14:23:00
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 感谢交流，你的专业这么独特？ 2012-08-04 20:10:26
aitudou: 金币+10, ★★★很有帮助, 1mm的可以用了 2012-08-12 16:16:35
一个可能是厚度太厚
另一个，可能是你们电极的磁体比较弱，磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚
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3楼2012-08-04 15:49:55
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aitudou

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2012-08-04 15:49:55
一个可能是厚度太厚
另一个，可能是你们电极的磁体比较弱，磁体与靶材表面的距离比较大

可以试试2mm或者1.5厚

嗯，有可能是厚度太厚了的，只有先试试薄一点的了，但愿可以用。
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4楼2012-08-04 16:54:26
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
你采用的是铁磁性靶，靶材的厚度和设备的磁场强度直接关系您的溅射产额。如果您的设备磁场设计没有特殊要求，这么大的靶材，厚度要薄些。一般3mm左右没有问题，如果还不行，设备的磁场要考虑下。
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5楼2012-08-28 19:20:31
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