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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 新手请教，射频溅射PTFE靶材
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jiangxiaojun

金虫 (小有名气)

[求助] 新手请教，射频溅射PTFE靶材

请问有做射频溅射PTFE的吗？请问一下PTFE靶材在哪儿购买，对PTFE有哪些要求？希望给予指导，谢谢！

[ Last edited by tt.yao on 2012-7-15 at 13:27 ]
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1楼 2012-07-15 09:54:08
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
jiangxiaojun: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-08-29 09:06:43
这种靶材我们公司有，北京瑞发致远科技有限责任公司。
实话实说，我们没有这种材料的参考工艺，建议厚度要薄一些。
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3楼2012-08-28 19:22:28
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jiangxiaojun

金虫 (小有名气)
谢谢，望有更多的答案！
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2楼2012-07-15 16:05:30
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jiangxiaojun

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by mosleo at 2012-08-28 19:22:28
这种靶材我们公司有，北京瑞发致远科技有限责任公司。
实话实说，我们没有这种材料的参考工艺，建议厚度要薄一些。

嗯，谢谢！不同的磁控溅射仪器需要相应型号的靶材，如果靶材小一些，比如小2cm的还能用吗？
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4楼2012-08-29 09:06:15
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我是小啰嗦

铜虫 (初入文坛)
本帖内容被屏蔽
5楼2013-09-24 08:54:49
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