24小时热门版块排行榜    

查看: 2405  |  回复: 15
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射起辉正常却没有溅射物质

这两天做的磁控溅射镀Al,起辉正常,但基片上却没有溅射物质,这是怎么回事呢?各位大侠有没有遇到这种情况,希望能提点一二啊,谢谢了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by dugu at 2012-06-21 18:59:31
可能是腔中残余O2比较多,Al等离子体被氧化了,Al2O3是透明的。
仅供楼主参考。

谢谢,O2残余应该不多吧,本底真空都在2~4*10-4Pa,我之前也做过,很正常的,就是最近才出现这种问题的
5楼2012-06-22 09:47:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

dugu

木虫 (小有名气)

可能是腔中残余O2比较多,Al等离子体被氧化了,Al2O3是透明的。
仅供楼主参考。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

书生老去机会方来
2楼2012-06-21 18:59:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jiajia1106

禁虫 (小有名气)


感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+1 2012-06-22 09:49:00
本帖内容被屏蔽

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

3楼2012-06-21 19:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sciencemaji

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘: 金币+1 2012-06-22 09:50:18
你确定里面没有氧气?看看细节。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2012-06-22 07:47:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 317求调剂 +3 申子申申 2026-03-19 5/250 2026-03-19 13:47 by houyaoxu
[考研] 288求调剂 +6 于海海海海 2026-03-19 6/300 2026-03-19 12:33 by peike
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +6 Ymlll 2026-03-18 9/450 2026-03-19 10:28 by 星空星月
[考研] 0703化学 305求调剂 +4 FY_yy 2026-03-14 4/200 2026-03-19 05:54 by anny19840123
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +7 步川酷紫123 2026-03-13 7/350 2026-03-18 17:12 by 尽舜尧1
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸! 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[考研] 307求调剂 +3 冷笙123 2026-03-17 3/150 2026-03-18 09:55 by macy2011
[考研] 296求调剂 +5 大口吃饭 身体健 2026-03-13 5/250 2026-03-17 21:05 by 不惑可乐
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 26考研求调剂 +6 丶宏Sir 2026-03-13 6/300 2026-03-17 16:13 by 醉在风里
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 0856专硕279求调剂 +5 加油加油!? 2026-03-15 5/250 2026-03-15 11:58 by 2020015
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
[考研] 080500,材料学硕302分求调剂学校 +4 初识可乐 2026-03-14 5/250 2026-03-14 21:08 by peike
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 材料与化工 323 英一+数二+物化,一志愿:哈工大 本人本科双一流 +4 自由的_飞翔 2026-03-13 5/250 2026-03-14 19:39 by hmn_wj
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 mxcz321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
信息提示
请填处理意见