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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 关于磁控溅射靶材的颗粒
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wu_zhenhui

银虫 (初入文坛)

[求助] 关于磁控溅射靶材的颗粒

磁控溅射硅靶材颗粒的大小对成膜有什么影响，颗粒大是不是镀出的薄膜较疏松？
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1楼2012-05-22 16:29:56
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wu_zhenhui

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by diamondli99 at 2012-05-23 09:56:15:
楼主是不是应该是靶材的晶粒尺寸？而不是颗粒大小？
根据我们的经验，靶材重要的是关注晶粒尺寸的均匀性，而不是单单考虑晶粒的大小。最终薄膜的性能虽然受靶材性能的影响，但是实际溅射工艺的影响要更大。
欢迎讨

谢谢，我们想用磁控溅射沉积二氧化硅薄膜，但获得的薄膜太致密，有什么办法能让它疏松一点呢？
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3楼2012-05-23 11:05:05
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diamondli99

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
天也潇潇: 金币+1, 鼓励应助 2012-05-24 08:27:47
楼主是不是应该是靶材的晶粒尺寸？而不是颗粒大小？
根据我们的经验，靶材重要的是关注晶粒尺寸的均匀性，而不是单单考虑晶粒的大小。最终薄膜的性能虽然受靶材性能的影响，但是实际溅射工艺的影响要更大。
欢迎讨论！
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2楼2012-05-23 09:56:15
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why22825

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
天也潇潇: 金币+2, 鼓励应助交流 2012-05-24 08:28:29
经验来讲，好像对于成膜的晶粒大小，主要取决于溅射中的功率，还有其他的溅射条件，对于靶材貌似影响不是太大。
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4楼2012-05-23 11:13:10
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wu_zhenhui

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by why22825 at 2012-05-23 11:13:10:
经验来讲，好像对于成膜的晶粒大小，主要取决于溅射中的功率，还有其他的溅射条件，对于靶材貌似影响不是太大。

3Q~
那靶材有哪些参数很重要？例如晶粒大小、纯度、均匀性等，对磁控溅射镀的薄膜质量分别会有什么影响呢？
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5楼2012-05-23 11:27:22
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