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磁控溅射ZnO膜时ZnO靶材需要放在强磁靶位吗
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sharlly
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专业: 金属功能材料
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磁控溅射ZnO膜时ZnO靶材需要放在强磁靶位吗
如题,请教大家,镀膜时陶瓷靶是放在强磁靶位还是永磁靶位的啊?对镀膜有什么不同的影响呢?谢谢
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2012-05-14 19:11:20
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ycy181
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2012-05-15 17:27:12
永磁靶位的,磁场固定的不变的。
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有目标,才有动力。
3楼
2012-05-15 16:51:44
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cz.87101
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2012-05-15 13:56:49
永磁靶位即可,强磁靶是用来做磁性靶材的吧。
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只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
2楼
2012-05-15 10:04:24
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