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sharlly

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[求助] 磁控溅射ZnO膜时ZnO靶材需要放在强磁靶位吗

如题，请教大家，镀膜时陶瓷靶是放在强磁靶位还是永磁靶位的啊？对镀膜有什么不同的影响呢？谢谢

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1楼 2012-05-14 19:11:20

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cz.87101

木虫 (正式写手)

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sharlly: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-15 13:56:49

永磁靶位即可，强磁靶是用来做磁性靶材的吧。

只有能打死的蚊子，没有能打死的小强！而偶就是打不死的小强！

2楼2012-05-15 10:04:24

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ycy181

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sharlly: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-15 17:27:12

永磁靶位的，磁场固定的不变的。

有目标，才有动力。

3楼2012-05-15 16:51:44

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