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sharlly

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射ZnO膜时ZnO靶材需要放在强磁靶位吗

如题,请教大家,镀膜时陶瓷靶是放在强磁靶位还是永磁靶位的啊?对镀膜有什么不同的影响呢?谢谢
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cz.87101

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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sharlly: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-15 13:56:49
永磁靶位即可,强磁靶是用来做磁性靶材的吧。
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
2楼2012-05-15 10:04:24
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ycy181

金虫 (小有名气)

战士

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
sharlly: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-05-15 17:27:12
永磁靶位的,磁场固定的不变的。
有目标,才有动力。
3楼2012-05-15 16:51:44
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