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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al,请问有什么好的方法没?最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们,希望你们不吝赐教啊,没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

自己顶一个,大家多多指教啊
2楼2012-01-12 16:07:56
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

大家帮帮忙啊,谢谢了
3楼2012-02-21 09:44:10
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chengl2007

银虫 (小有名气)

楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2012-02-21 09:53:34
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-21 09:53:34:
楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

以光刻胶为保护层刻蚀呈圆孔阵列,直径500nm左右,深度400~500nm
5楼2012-02-21 20:34:06
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chengl2007

银虫 (小有名气)

具体的刻蚀铝不懂,要是要求圆柱型的话感觉化学法缺乏各向异性,可能要用到ICP。
6楼2012-02-22 12:31:32
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘(金币+1): 2012-02-22 19:59:44
不管你用什么方法刻蚀,首先要做出500nm直径的圆,比如光刻,如果能的话才能往下继续
7楼2012-02-22 16:15:33
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
佳好_悦缘(金币+2): ★★★很有帮助 2012-02-22 20:05:01
TMAH你们肯定有,用这个!
注意控制时间,别漂得太久。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

再烦,也别忘微笑;再急,也要注意语气;再苦,也别忘坚持;再累,也要爱自己。低调做人,你会一次比一次稳健;高调做事,你会一次比一次优秀。
8楼2012-02-22 17:29:05
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

佳好_悦缘(金币+2): ★★★很有帮助 2012-02-22 20:05:56
应该在2-3分钟可以刻掉,注意观察颜色变化。
再烦,也别忘微笑;再急,也要注意语气;再苦,也别忘坚持;再累,也要爱自己。低调做人,你会一次比一次稳健;高调做事,你会一次比一次优秀。
9楼2012-02-22 17:30:41
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by ciompman at 2012-02-22 16:15:33:
不管你用什么方法刻蚀,首先要做出500nm直径的圆,比如光刻,如果能的话才能往下继续

已经用光刻做出来了,就是请教接下来怎么做刻蚀
10楼2012-02-22 20:00:35
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