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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al,请问有什么好的方法没?最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们,希望你们不吝赐教啊,没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

自己顶一个,大家多多指教啊
2楼2012-01-12 16:07:56
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

大家帮帮忙啊,谢谢了
3楼2012-02-21 09:44:10
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-21 09:53:34:
楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

以光刻胶为保护层刻蚀呈圆孔阵列,直径500nm左右,深度400~500nm
5楼2012-02-21 20:34:06
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by ciompman at 2012-02-22 16:15:33:
不管你用什么方法刻蚀,首先要做出500nm直径的圆,比如光刻,如果能的话才能往下继续

已经用光刻做出来了,就是请教接下来怎么做刻蚀
10楼2012-02-22 20:00:35
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-22 12:31:32:
具体的刻蚀铝不懂,要是要求圆柱型的话感觉化学法缺乏各向异性,可能要用到ICP。

我是用PMMA做保护层的,用ICP效果应该不好吧
11楼2012-02-22 20:04:14
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
: Originally posted by diamondfire at 2012-02-22 17:29:05:
TMAH你们肯定有,用这个!
注意控制时间,别漂得太久。

你有尝试过嘛,效果怎么样
12楼2012-02-22 20:05:41
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by diamondfire at 2012-02-22 17:29:05:
TMAH你们肯定有,用这个!
注意控制时间,别漂得太久。

你好,再次感谢你之前对我提问的解答,不知道是否可以麻烦你推荐几篇相关的文献呢?谢谢!!!
14楼2012-03-19 09:43:35
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