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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al,请问有什么好的方法没?最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们,希望你们不吝赐教啊,没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-22 12:31:32:
具体的刻蚀铝不懂,要是要求圆柱型的话感觉化学法缺乏各向异性,可能要用到ICP。

我是用PMMA做保护层的,用ICP效果应该不好吧
11楼2012-02-22 20:04:14
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查看全部 18 个回答

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

自己顶一个,大家多多指教啊
2楼2012-01-12 16:07:56
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

大家帮帮忙啊,谢谢了
3楼2012-02-21 09:44:10
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chengl2007

银虫 (小有名气)

楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2012-02-21 09:53:34
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