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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al,请问有什么好的方法没?最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们,希望你们不吝赐教啊,没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

大家帮帮忙啊,谢谢了
3楼2012-02-21 09:44:10
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查看全部 18 个回答

佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

自己顶一个,大家多多指教啊
2楼2012-01-12 16:07:56
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chengl2007

银虫 (小有名气)

楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4楼2012-02-21 09:53:34
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-21 09:53:34:
楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

以光刻胶为保护层刻蚀呈圆孔阵列,直径500nm左右,深度400~500nm
5楼2012-02-21 20:34:06
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