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【请教】XPS depth profiling 测试分析Zn和O比例问题
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样品是ZnO掺杂Al，EDS能谱显示Al5%。但是深度剖析发现铝的含量20%。测试中铝采用扫描8次，而Zn和O信号好，只扫描一次。 请教是否是测试的问题。我想要的结果就是ZnO掺杂Al，Al的含量很少。 [ Last edited by ling860 on 2010-11-5 at 15:17 ] |
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