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ling860

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】XPS depth profiling 测试分析Zn和O比例问题

样品是ZnO掺杂Al，EDS能谱显示Al5%。但是深度剖析发现铝的含量20%。测试中铝采用扫描8次，而Zn和O信号好，只扫描一次。 请教是否是测试的问题。我想要的结果就是ZnO掺杂Al，Al的含量很少。



[ Last edited by ling860 on 2010-11-5 at 15:17 ]
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1楼 2010-11-05 13:40:04
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zhxfish

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by zhxfish at 2010-11-06 12:12:28:
不同元素刻蚀速率是不同的，这个需要修正。

这个问题还是挺难做的，一般是用低能的Ar离子轰击，我也做XPS了，靶材掺杂2wt%,XPS
深度剖下来也是2-3at%。你的不知道怎么算成20%。不太明白，不久计算面积除以敏感因子吗？
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人生聚散本无常，偶然聚合便顷刻要分离，虽然遗憾，又何必悲伤，命运难期，何处不能要逢。我愧无嘉言懿行，足为兄助，但愿他日重逢，耿耿此心依旧，为兄一饮庆.
6楼2010-11-15 15:18:13
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
★
ling860(金币+1):谢谢参与
ling860(金币+1): 2010-11-15 12:11:58
不太懂。但是如果想比较Al，Zn，O的含量，得在全谱中比吧？你各个元素单独扫的，Al有多次叠加，Zn，O没有，怎么算比例？
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江湖背影
2楼2010-11-05 15:18:59
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zhxfish

金虫 (著名写手)
★
ling860(金币+1):谢谢参与
ling860(金币+5):刻蚀速率需要软件修正么 2010-11-15 12:11:50
不同元素刻蚀速率是不同的，这个需要修正。
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人生聚散本无常，偶然聚合便顷刻要分离，虽然遗憾，又何必悲伤，命运难期，何处不能要逢。我愧无嘉言懿行，足为兄助，但愿他日重逢，耿耿此心依旧，为兄一饮庆.
3楼2010-11-06 12:12:28
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zhxfish

金虫 (著名写手)
ling860(金币+1): 2010-11-15 12:11:17
我也做AZO,欢迎交流。zhangxf315@yahoo.com.cn
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人生聚散本无常，偶然聚合便顷刻要分离，虽然遗憾，又何必悲伤，命运难期，何处不能要逢。我愧无嘉言懿行，足为兄助，但愿他日重逢，耿耿此心依旧，为兄一饮庆.
4楼2010-11-06 12:13:10
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