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ling860

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】XPS depth profiling 测试分析Zn和O比例问题

样品是ZnO掺杂Al,EDS能谱显示Al5%。但是深度剖析发现铝的含量20%。测试中铝采用扫描8次,而Zn和O信号好,只扫描一次。 请教是否是测试的问题。我想要的结果就是ZnO掺杂Al,Al的含量很少。



[ Last edited by ling860 on 2010-11-5 at 15:17 ]
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

★
ling860(金币+1):谢谢参与
ling860(金币+1): 2010-11-15 12:11:58
不太懂。但是如果想比较Al,Zn,O的含量,得在全谱中比吧?你各个元素单独扫的,Al有多次叠加,Zn,O没有,怎么算比例?
江湖背影
2楼2010-11-05 15:18:59
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zhxfish

金虫 (著名写手)

★
ling860(金币+1):谢谢参与
ling860(金币+5):刻蚀速率需要软件修正么 2010-11-15 12:11:50
不同元素刻蚀速率是不同的,这个需要修正。
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
3楼2010-11-06 12:12:28
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zhxfish

金虫 (著名写手)

ling860(金币+1): 2010-11-15 12:11:17
我也做AZO,欢迎交流。zhangxf315@yahoo.com.cn
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
4楼2010-11-06 12:13:10
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zhengchenx

禁虫 (著名写手)

★
ling860(金币+1):谢谢参与
本帖内容被屏蔽

5楼2010-11-06 12:47:13
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zhxfish

金虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by zhxfish at 2010-11-06 12:12:28:
不同元素刻蚀速率是不同的,这个需要修正。

这个问题还是挺难做的,一般是用低能的Ar离子轰击,我也做XPS了,靶材掺杂2wt%,XPS
深度剖下来也是2-3at%。你的不知道怎么算成20%。不太明白,不久计算面积除以敏感因子吗?
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
6楼2010-11-15 15:18:13
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zhxfish

金虫 (著名写手)

你重新做个样吧,下下策,呵呵!你这个结果很费解。
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
7楼2010-11-15 15:19:18
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zhxfish

金虫 (著名写手)

有兴趣的话看看我的AZO存在的问题。互相帮助嘛~

帖子见:http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=2567501
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
8楼2010-11-15 15:20:22
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