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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀Al的问题
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al，请问有什么好的方法没？最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们，希望你们不吝赐教啊，没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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1楼 2012-01-10 11:13:14
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-21 09:53:34:
楼主说的太笼统了吧，刻蚀Al总得有些要求吧

以光刻胶为保护层刻蚀呈圆孔阵列，直径500nm左右，深度400~500nm
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5楼2012-02-21 20:34:06
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
自己顶一个，大家多多指教啊
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2楼2012-01-12 16:07:56
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
大家帮帮忙啊，谢谢了
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3楼2012-02-21 09:44:10
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chengl2007

银虫 (小有名气)
楼主说的太笼统了吧，刻蚀Al总得有些要求吧
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佳好_悦缘
4楼2012-02-21 09:53:34
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