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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al,请问有什么好的方法没?最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们,希望你们不吝赐教啊,没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by ciompman at 2012-02-22 16:15:33:
不管你用什么方法刻蚀,首先要做出500nm直径的圆,比如光刻,如果能的话才能往下继续

已经用光刻做出来了,就是请教接下来怎么做刻蚀
10楼2012-02-22 20:00:35
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

自己顶一个,大家多多指教啊
2楼2012-01-12 16:07:56
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

大家帮帮忙啊,谢谢了
3楼2012-02-21 09:44:10
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chengl2007

银虫 (小有名气)

楼主说的太笼统了吧,刻蚀Al总得有些要求吧

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4楼2012-02-21 09:53:34
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