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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

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专业: 金属材料的制备科学与跨学

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al，请问有什么好的方法没？最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们，希望你们不吝赐教啊

，没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦

谢谢了

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1楼 2012-01-10 11:13:14

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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

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【答案】应助回帖

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佳好_悦缘(金币+1): 2012-02-22 19:59:44

不管你用什么方法刻蚀，首先要做出500nm直径的圆，比如光刻，如果能的话才能往下继续

7楼2012-02-22 16:15:33

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