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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀Al的问题
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
引用回帖:
楼: Originally posted by chengl2007 at 2012-02-22 12:31:32:
具体的刻蚀铝不懂，要是要求圆柱型的话感觉化学法缺乏各向异性，可能要用到ICP。

我是用PMMA做保护层的，用ICP效果应该不好吧
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11楼2012-02-22 20:04:14
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
楼: Originally posted by diamondfire at 2012-02-22 17:29:05:
TMAH你们肯定有，用这个！
注意控制时间，别漂得太久。

你有尝试过嘛，效果怎么样
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12楼2012-02-22 20:05:41
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diamondfire

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

佳好_悦缘(金币+35): ★★★很有帮助 谢谢你 2012-02-23 14:44:42
引用回帖:
12楼: Originally posted by 佳好_悦缘 at 2012-02-22 20:05:41:
你有尝试过嘛，效果怎么样

当然尝试过，效果很好。
赞一下 回复此楼
再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
13楼2012-02-23 14:06:40
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by diamondfire at 2012-02-22 17:29:05:
TMAH你们肯定有，用这个！
注意控制时间，别漂得太久。

你好，再次感谢你之前对我提问的解答，不知道是否可以麻烦你推荐几篇相关的文献呢？谢谢！！！
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14楼2012-03-19 09:43:35
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diamondfire

木虫 (正式写手)
It is not available for me to type chinese now. Sorry about that.
What kind of papers do you need?
This is a kind of skill, what you need is just practice I think.
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再烦，也别忘微笑；再急，也要注意语气；再苦，也别忘坚持；再累，也要爱自己。低调做人，你会一次比一次稳健；高调做事，你会一次比一次优秀。
15楼2012-03-19 11:02:07
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foxs2

木虫 (文坛精英)
IBE刻蚀就是了，就是小孔里刻比平面得慢一些。
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16楼2012-03-20 15:00:14
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qxqsena

新虫 (初入文坛)
我也在做Al的刻蚀，老板要求用NaOH刻蚀，10%的NaOH要刻蚀3个小时，可是光刻胶会脱落，图形也就不行了。请问楼主用PMMA在铝上的附着力好吗？
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懂得
17楼2012-06-02 12:38:02
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
18楼2012-09-16 17:41:42
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