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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀Al的问题
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佳好_悦缘

金虫 (小有名气)

[求助] 刻蚀Al的问题

我想以PMMA光刻胶模板作为保护层刻蚀Al，请问有什么好的方法没？最好是经济容易实现的。做过这种实验的各位大侠们，希望你们不吝赐教啊，没做过但是有好的想法的也请各位说出来交流一下哦谢谢了
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1楼 2012-01-10 11:13:14
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foxs2

木虫 (文坛精英)
IBE刻蚀就是了，就是小孔里刻比平面得慢一些。
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16楼2012-03-20 15:00:14
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