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haode22

金虫 (正式写手)


[交流] 反映磁控溅射相关问题

各位大侠:

反映磁控溅射可不可以这样做:射频溅射金属如(Al),同时加热非金属如(碘)产生反应气体,溅射气体为Ar,由于没有现成的碘气体,于是我想采用这样的方案,不知可行否?
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wukong6170

铁杆木虫 (正式写手)



haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): 呵呵,不要老想到用金属腔体,管道等,接头是耗材嘛 2011-09-01 10:00:43
那溅射的设备不是被碘腐蚀了?
2楼2011-08-31 19:47:31
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)



haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): 我觉得这样的设备应该有很多 2011-09-01 10:01:15
这个有点意思,溅射 蒸发一体机,同时用。确实比较牛的想法。先把基本原理,几何位置摆布开来,然后试验它一把,如果你这个需求比较典型,这个小设备可以申请专利。
3楼2011-08-31 23:13:04
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fegnzaixie

木虫 (著名写手)



haode22(金币+1):谢谢参与
是啊是啊设备能不能被破坏了啊
4楼2011-08-31 23:16:14
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mingliwiner

木虫 (著名写手)



haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): 等我的消息吧 2011-09-01 10:01:41
我也有过类似的想法,可惜管设备的老师不让这样做
5楼2011-09-01 09:49:33
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mingliwiner

木虫 (著名写手)


希望楼主能做出来,加油!
6楼2011-09-01 10:06:08
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greenhaw

金虫 (初入文坛)



haode22(金币+1):谢谢参与
反映应该会发生,但是要控制好溅射Al和碘分子比例才能得到想要的材料。
7楼2011-09-01 14:17:23
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poohpan

银虫 (初入文坛)



haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): Al我就是采用的RF溅射,关于靶中毒,可否按你的想法详细说明? 2011-09-01 21:13:00
结果肯定能实现 但是实验结果你想得到什么呢?Al-I?··· 如果试的话 Al应该用射频靶试试 免得引起靶中毒什么的 再有真空设备污染肯定很大
8楼2011-09-01 15:49:11
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大鲨鱼邓肯

木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
设备污染问题怎么解决,混合镀层的思路还是不错的!
9楼2011-11-30 20:01:36
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天地精华

木虫 (正式写手)


希望楼主能做出来
10楼2011-11-30 22:40:38
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