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反映磁控溅射相关问题
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各位大侠： 反映磁控溅射可不可以这样做：射频溅射金属如（Al），同时加热非金属如（碘）产生反应气体，溅射气体为Ar，由于没有现成的碘气体，于是我想采用这样的方案，不知可行否？ |
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 反应磁控溅射 |
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