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反映磁控溅射相关问题
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haode22
金虫
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虫号: 754432
[交流]
反映磁控溅射相关问题
各位大侠:
反映磁控溅射可不可以这样做:射频溅射金属如(Al),同时加热非金属如(碘)产生反应气体,溅射气体为Ar,由于没有现成的碘气体,于是我想采用这样的方案,不知可行否?
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2011-08-31 13:58:01
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greenhaw
金虫
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★
haode22(金币
+1
):谢谢参与
反映应该会发生,但是要控制好溅射Al和碘分子比例才能得到想要的材料。
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7楼
2011-09-01 14:17:23
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wukong6170
铁杆木虫
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在线: 499.4小时
虫号: 650167
★
haode22(金币
+1
):谢谢参与
haode22(金币+1): 呵呵,不要老想到用金属腔体,管道等,接头是耗材嘛 2011-09-01 10:00:43
那溅射的设备不是被碘腐蚀了?
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2楼
2011-08-31 19:47:31
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COXEM
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★
haode22(金币
+1
):谢谢参与
haode22(金币+1): 我觉得这样的设备应该有很多 2011-09-01 10:01:15
这个有点意思,溅射 蒸发一体机,同时用。确实比较牛的想法。先把基本原理,几何位置摆布开来,然后试验它一把,如果你这个需求比较典型,这个小设备可以申请专利。
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3楼
2011-08-31 23:13:04
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fegnzaixie
木虫
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★
haode22(金币
+1
):谢谢参与
是啊是啊设备能不能被破坏了啊
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4楼
2011-08-31 23:16:14
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