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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 反映磁控溅射相关问题
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haode22

金虫 (正式写手)

[交流] 反映磁控溅射相关问题

各位大侠：

反映磁控溅射可不可以这样做：射频溅射金属如（Al），同时加热非金属如（碘）产生反应气体，溅射气体为Ar，由于没有现成的碘气体，于是我想采用这样的方案，不知可行否？
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1楼 2011-08-31 13:58:01
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poohpan

银虫 (初入文坛)
★
haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): Al我就是采用的RF溅射，关于靶中毒，可否按你的想法详细说明？ 2011-09-01 21:13:00
结果肯定能实现 但是实验结果你想得到什么呢？Al-I？··· 如果试的话 Al应该用射频靶试试 免得引起靶中毒什么的 再有真空设备污染肯定很大
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8楼2011-09-01 15:49:11
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wukong6170

铁杆木虫 (正式写手)
★
haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): 呵呵，不要老想到用金属腔体，管道等，接头是耗材嘛 2011-09-01 10:00:43
那溅射的设备不是被碘腐蚀了？
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2楼2011-08-31 19:47:31
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COXEM

捐助贵宾 (正式写手)
★
haode22(金币+1):谢谢参与
haode22(金币+1): 我觉得这样的设备应该有很多 2011-09-01 10:01:15
这个有点意思，溅射 蒸发一体机，同时用。确实比较牛的想法。先把基本原理，几何位置摆布开来，然后试验它一把，如果你这个需求比较典型，这个小设备可以申请专利。
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3楼2011-08-31 23:13:04
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fegnzaixie

木虫 (著名写手)
★
haode22(金币+1):谢谢参与
是啊是啊设备能不能被破坏了啊
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4楼2011-08-31 23:16:14
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