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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 请问对于亚稳态的物质，利用射频磁控溅射有可能制备出相应的薄膜来吗
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pjdustin

木虫 (正式写手)

[交流] 请问对于亚稳态的物质，利用射频磁控溅射有可能制备出相应的薄膜来吗 已有1人参与

最近比较纠结，在做一个Ba-Ti系亚稳化合膜，但是尝试一段时间，始终得不到想要的相。我是先低温沉积-后高温退火做，希望大家给点看法！
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prettydamngooddaytomorrow!
1楼 2011-04-22 22:16:11
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pjdustin

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by huhuhuhu at 2011-04-23 05:29:39:
思路正确，考虑沉积时候的气体分压，以及退火时间和温度梯度，

谢谢
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prettydamngooddaytomorrow!
3楼2011-04-23 11:36:57
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
思路正确，考虑沉积时候的气体分压，以及退火时间和温度梯度，
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2011-04-23 05:29:39
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