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pjdustin

木虫 (正式写手)

[交流] 请问对于亚稳态的物质,利用射频磁控溅射有可能制备出相应的薄膜来吗 已有1人参与

最近比较纠结,在做一个Ba-Ti系亚稳化合膜,但是尝试一段时间,始终得不到想要的相。我是先低温沉积-后高温退火做,希望大家给点看法!
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prettydamngooddaytomorrow!
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huhuhuhu

铁杆木虫 (著名写手)

大师兄


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
思路正确,考虑沉积时候的气体分压,以及退火时间和温度梯度,
2楼2011-04-23 05:29:39
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pjdustin

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by huhuhuhu at 2011-04-23 05:29:39:
思路正确,考虑沉积时候的气体分压,以及退火时间和温度梯度,

谢谢
prettydamngooddaytomorrow!
3楼2011-04-23 11:36:57
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