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[交流]
【请教】直流磁控溅射中的偏压 已有2人参与
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直流磁控溅射中偏压的意义和作用是什么 如果不打开偏压电源对成膜有什么影响 直流磁控溅射如何加偏压？（原理） 加偏压对成膜有什么影响 谢谢 |
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380677864
木虫 (正式写手)
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- 专业: 电工材料特性及其应用
3楼2010-09-15 08:08:11
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1.直流溅射一般不用加偏压，所以我不知道你问的问题对不对，我就说说交流（射频）溅射的偏压原理。标准的射频电源应该是一个余玄电源，也就是正的半周期和负的半周期是完全对称的，所以在正的半周期电子在电场作用下向靶材移动，负的半周期下正离子向靶材移动，由于他们所受的电场力大小是相同的（因为带电大小一样），但由于他们质量不同，所以他们的加速度不一样大小，移动速度也就不一样大小，所以在两个半周期内到达靶表面的电子数到大于正粒子数，由于射频一般是用在绝缘靶上，这样在靶上就产生了电荷积累，而电荷积累产生的电势相当于在交流电源上叠加了一个直流偏压，就使正半周期和负半周期不一致，正半周期减小而负半周期增加，从而到达靶表面的的电子数减小而正离子数增加，最终达到一个平衡状态，在一个周期内到达靶表面的电子数和正离子数一样多，从而溅射达到一个稳定的状态。这时候由于在靶表面的电子积累而产生的电压就是直流自偏压。 2. 不打开偏压就没法溅射绝缘材料，道理看了上面的应该会明白。 3。直流磁控溅射为什么要加偏压呢，我没加过。 4。加偏压之后会改变离子的动能，所以也会影响到成膜，至于具体如何影响，不能一概而论，建议多看看文献。 [ Last edited by cjw796 on 2010-7-12 at 15:48 ] |
2楼2010-07-12 15:42:17
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