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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射FeCo、Ag、Cu膜的辉光颜色？
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射FeCo、Ag、Cu膜的辉光颜色？ 已有9人参与

请教：
磁控溅射FeCo、Ag、Cu三种膜的辉光都是那种颜色？
在玻璃基片上沉积的薄膜是什么颜色（请注明厚度）？
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1楼 2010-03-31 21:35:51
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
2楼2010-04-02 15:34:21
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zhouhao9102

禁虫 (小有名气)
★
yangfengfan888(金币+5): 2010-04-03 19:57
小木虫:)(金币+1):3q 2010-04-03 22:16
本帖内容被屏蔽
3楼2010-04-02 20:31:12
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhouhao9102 at 2010-04-02 20:31:12:
沉积Co基薄膜的辉光颜色应该是黄色吧，薄膜是黑色

你做了多厚？薄膜显示黑色？
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4楼2010-04-03 19:58:38
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zhouhao9102

禁虫 (小有名气)
yangfengfan888(金币+1): 2010-04-04 11:55
本帖内容被屏蔽
5楼2010-04-04 11:44:18
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by zhouhao9102 at 2010-04-04 11:44:18:

我是镀了30分钟，就400个纳米左右吧。

你的生长速率很快啊，我用共溅，气压0.5Pa,100W*2h,靶距11cm，才80nm.
你的设备是垂直溅吗？具体实验条件呢？
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6楼2010-04-04 11:55:37
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haode22

金虫 (正式写手)
★
yangfengfan888(金币+3): 2010-04-06 14:42
小木虫:)(金币+1):3q 2010-04-06 22:08
做过Cu和Al的磁控溅射，辉光都是紫色的，膜都是原来单质的颜色，一般做20分钟，厚度没测过，与距离和时间有关。我是做电极，电阻一般在5欧姆以下。
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
7楼2010-04-04 20:59:03
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)
小木虫:):求助完毕需要关贴时，请通知我们 2010-04-06 22:09
好的，谢谢！
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8楼2010-04-06 14:42:13
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FePt

木虫 (正式写手)
yangfengfan888(金币+1): 2010-05-10 12:18:40
Cu好像是紫色的
引用回帖:
Originally posted by yangfengfan888 at 2010-03-31 21:35:51:
请教：
磁控溅射FeCo、Ag、Cu三种膜的辉光都是那种颜色？
在玻璃基片上沉积的薄膜是什么颜色（请注明厚度）？

回复此楼
9楼2010-04-24 17:31:40
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qhs81

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
Cu的溅射颜色是紫色？如果功率比较低的话，起辉不是太好的话，好像很多都是偏紫红色的。功率稍大一点，Cu的起辉颜色好像是绿色偏点蓝吧？
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2011-03-21 09:14:03
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