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yangfengfan888

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射FeCo、Ag、Cu膜的辉光颜色? 已有9人参与

请教:
磁控溅射FeCo、Ag、Cu三种膜的辉光都是那种颜色?
在玻璃基片上沉积的薄膜是什么颜色(请注明厚度)?
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by zhouhao9102 at 2010-04-04 11:44:18:

我是镀了30分钟,就400个纳米左右吧。

你的生长速率很快啊,我用共溅,气压0.5Pa,100W*2h,靶距11cm,才80nm.
你的设备是垂直溅吗?具体实验条件呢?
6楼2010-04-04 11:55:37
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zhouhao9102

禁虫 (小有名气)


yangfengfan888(金币+5): 2010-04-03 19:57
小木虫:)(金币+1):3q 2010-04-03 22:16
本帖内容被屏蔽

3楼2010-04-02 20:31:12
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yangfengfan888

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by zhouhao9102 at 2010-04-02 20:31:12:
沉积Co基薄膜的辉光颜色应该是黄色吧,薄膜是黑色

你做了多厚?薄膜显示黑色?
4楼2010-04-03 19:58:38
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zhouhao9102

禁虫 (小有名气)

yangfengfan888(金币+1): 2010-04-04 11:55
本帖内容被屏蔽

5楼2010-04-04 11:44:18
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