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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】磁控溅射FeCo、Ag、Cu膜的辉光颜色？
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
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Originally posted by yangfengfan888 at 2010-03-31 21:35:51:
请教：
磁控溅射FeCo、Ag、Cu三种膜的辉光都是那种颜色？
在玻璃基片上沉积的薄膜是什么颜色（请注明厚度）？

一般的金属都是紫色的，但是Cu好像是绿色的（在纯氩气中）。
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天行健，君子以自强不息～～～～～
11楼2011-03-23 17:04:42
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sxjsn1

金虫 (小有名气)

veni vedi veci
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
19338511楼: Originally posted by yangfengfan888 at 2010-03-31 21:35:51
请教：
磁控溅射FeCo、Ag、Cu三种膜的辉光都是那种颜色？
在玻璃基片上沉积的薄膜是什么颜色（请注明厚度）？

您好，请问你们磁控溅射完后，开腔前腔室内充气是氮气还是空气？
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夜半酒醒人去后，更持红烛赏残花
12楼2012-08-19 16:48:20
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by yangfengfan888 at 2010-04-04 11:55:37
你的生长速率很快啊，我用共溅，气压0.5Pa,100W*2h,靶距11cm，才80nm.
你的设备是垂直溅吗？具体实验条件呢？...

你那的速率和我的差不多。用的一样是共溅系统
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天生乐观，自由奋斗。
13楼2013-12-10 13:46:35
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遮天绿叶

银虫 (初入文坛)
听说正常下Co应该是蓝色辉光。我目前只用直流溅射，看到的都是偏紫光
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天生乐观，自由奋斗。
14楼2013-12-10 13:47:49
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crisis4sm

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhouhao9102 at 2010-04-04 11:44:18
我是镀了30分钟，就400个纳米左右吧。

你好，你做Co靶用的是DC源还是RF源啊？功率多大啊？
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15楼2013-12-24 21:59:15
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