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求助光刻做一个1微米厚的电极
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之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。 发自小木虫IOS客户端 |
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这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟 发自小木虫IOS客户端 |
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CMR的虫生17楼2016-12-02 19:00:20
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dsctg2楼
2016-12-02 17:55
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dsctg3楼
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tan9146楼
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shaybing14楼
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ajingne115楼
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依依久久18楼
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依依久久19楼
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莲花如梦22楼
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wangcui198423楼
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胡小虾27楼
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time8828楼
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tzynew38楼
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seeker9140楼
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seeker9141楼
2016-12-02 19:43
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sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50
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sz_kebaoyuan47楼
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cewxd48楼
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sz_kebaoyuan50楼
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