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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要求好高啊,你光刻出来的图形怎么样?

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66楼2016-12-02 20:14:39
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
还有用溅射做吧,蒸发的腔体温度太高,对胶影响也很大

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67楼2016-12-02 20:16:49
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


引用回帖:
67楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-12-02 20:16:49
还有用溅射做吧,蒸发的腔体温度太高,对胶影响也很大

图形的也没什么吧,只要能够做到一个两微米宽的电极就好。然后金属层尽量能厚度在1个微米左右。

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68楼2016-12-02 20:29:01
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
金属电极挺好做的呀,磁控溅射用不了多长时间就可以

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69楼2016-12-02 22:58:46
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
用负胶做lift off怎么样?负胶厚度可以很厚

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70楼2016-12-03 07:37:39
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exciting73

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这么厚的金属层用正胶去剥离有点不大容易。可以用专门的lift-off负胶,可以做出倒梯形结构,再蒸镀金属之后很容易剥离。有需要请站内联系。
71楼2016-12-10 17:30:02
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忆空白51楼
2016-12-02 19:53   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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忆空白52楼
2016-12-02 19:53   回复  
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343553楼
2016-12-02 19:55   回复  
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343554楼
2016-12-02 19:55   回复  
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chejiacun57楼
2016-12-02 19:56   回复  
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chejiacun58楼
2016-12-02 19:57   回复  
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leic59楼
2016-12-02 19:57   回复  
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leic60楼
2016-12-02 19:57   回复  
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2016-12-02 19:58   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 19:58   回复  
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三八洲63楼
2016-12-02 19:58   回复  
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三八洲64楼
2016-12-02 19:58   回复  
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2016-12-02 19:59   回复  
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