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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
要求好高啊，你光刻出来的图形怎么样？

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66楼2016-12-02 20:14:39
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
还有用溅射做吧，蒸发的腔体温度太高，对胶影响也很大

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67楼2016-12-02 20:16:49
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
67楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-12-02 20:16:49
还有用溅射做吧，蒸发的腔体温度太高，对胶影响也很大

图形的也没什么吧，只要能够做到一个两微米宽的电极就好。然后金属层尽量能厚度在1个微米左右。

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68楼2016-12-02 20:29:01
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
金属电极挺好做的呀，磁控溅射用不了多长时间就可以

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69楼2016-12-02 22:58:46
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
用负胶做lift off怎么样？负胶厚度可以很厚

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70楼2016-12-03 07:37:39
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这么厚的金属层用正胶去剥离有点不大容易。可以用专门的lift-off负胶，可以做出倒梯形结构，再蒸镀金属之后很容易剥离。有需要请站内联系。
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71楼2016-12-10 17:30:02
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忆空白51楼
2016-12-02 19:53   回复  
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忆空白52楼
2016-12-02 19:53   回复  
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343553楼
2016-12-02 19:55   回复  
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343554楼
2016-12-02 19:55   回复  
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我们的十九55楼
2016-12-02 19:55   回复  
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我们的十九56楼
2016-12-02 19:55   回复  
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chejiacun57楼
2016-12-02 19:56   回复  
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chejiacun58楼
2016-12-02 19:57   回复  
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leic59楼
2016-12-02 19:57   回复  
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leic60楼
2016-12-02 19:57   回复  
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多啦A梦283361楼
2016-12-02 19:58   回复  
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多啦A梦283362楼
2016-12-02 19:58   回复  
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三八洲63楼
2016-12-02 19:58   回复  
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三八洲64楼
2016-12-02 19:58   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
好 发自小木虫Android客户端
雾霾天201365楼
2016-12-02 19:59   回复  
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