24小时热门版块排行榜    

查看: 2898  |  回复: 70

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次,用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米,说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神,要做1微米厚的电极该用什么样的方法,光刻版的设计是否需要注意什么?注,电极的宽度仅2微米宽。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

科了个研

铁虫 (小有名气)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做,可以考虑用厚的正胶,比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

发自小木虫IOS客户端

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

17楼2016-12-02 19:00:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤
4楼2016-12-02 18:20:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


5楼2016-12-02 18:23:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤    挤挤
8楼2016-12-02 18:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
10楼2016-12-02 18:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
11楼2016-12-02 18:36:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

假大空

木虫之王 (文学泰斗)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶顶顶
24楼2016-12-02 19:07:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
帮顶
26楼2016-12-02 19:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向,诚祝顺利
30楼2016-12-02 19:19:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
建议可发送到专业版块咨询
31楼2016-12-02 19:19:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 !
32楼2016-12-02 19:21:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 !
33楼2016-12-02 19:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做,可以考虑用厚的正胶,比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

发自小木虫IOS客户端
39楼2016-12-02 19:33:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:36   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine21楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
2016-12-02 19:22   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
tzynew37楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
50477549044楼
2016-12-02 19:44   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
2016-12-02 19:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 19:51   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 CMR的虫生 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-04 5/250 2026-08-04 13:31 by jzdxtiUmJ6PL
[公派出国] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-04 6/300 2026-08-04 13:28 by jzdxtiUmJ6PL
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-03 8/400 2026-08-04 13:15 by jzdxtiUmJ6PL
[教师之家] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 11/550 2026-08-04 12:58 by jzdxtiUmJ6PL
[基金申请] 娱乐 +4 Tide man 2026-08-03 4/200 2026-08-04 11:51 by wgch518
[考研] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-03 6/300 2026-08-04 11:34 by MWRYsWbJw4DE
[博后之家] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 Ocx3OKOzGU4q 2026-08-03 4/200 2026-08-04 11:26 by MWRYsWbJw4DE
[基金申请] 面上提前没消息,有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 17/850 2026-08-04 09:46 by archvillain
[博后之家] 售SCI一区文章,我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 9/450 2026-08-04 09:17 by v1TJC4qJauAB
[有机交流] 一个有机合成实验室都需要哪些设备? 50+3 kf2781974 2026-07-31 10/500 2026-08-04 08:05 by 88817753
[找工作] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 9/450 2026-08-04 07:37 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 13/650 2026-08-04 07:30 by k7OM8YghWbkC
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 6/300 2026-08-04 06:10 by k7OM8YghWbkC
[考研] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 8/400 2026-08-04 03:21 by k7OM8YghWbkC
[基金申请] 什么时候能放榜呀? +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
[基金申请] 面上再次挂了,太难了,躺也躺不了,倦也卷不过,小学校之殇! +19 低垂的野花 2026-07-31 25/1250 2026-08-03 09:25 by gy116024
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +16 布布和一二 2026-07-30 22/1100 2026-08-03 09:20 by gy116024
[基金申请] 微信指数没变化,科研之友没阅读 +15 wangze12014 2026-07-28 19/950 2026-08-02 20:05 by 蔡棒棒菂
[高分子] HXDI做水性聚氨酯乳液,是不是特别容易出渣 15+3 yuyusuv 2026-07-29 3/150 2026-07-31 09:21 by huizingga
[基金申请] 你们的时间戳变了吗 +3 archvillain 2026-07-30 4/200 2026-07-30 18:53 by levinzhwen
信息提示
请填处理意见