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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次,用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米,说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神,要做1微米厚的电极该用什么样的方法,光刻版的设计是否需要注意什么?注,电极的宽度仅2微米宽。

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科了个研

铁虫 (小有名气)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做,可以考虑用厚的正胶,比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

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17楼2016-12-02 19:00:20
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嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤
4楼2016-12-02 18:20:59
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


5楼2016-12-02 18:23:23
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嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤    挤挤
8楼2016-12-02 18:34:50
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aa213aa213

木虫 (职业作家)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
10楼2016-12-02 18:36:26
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aa213aa213

木虫 (职业作家)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
11楼2016-12-02 18:36:56
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶顶顶
24楼2016-12-02 19:07:01
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
帮顶
26楼2016-12-02 19:13:47
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青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向,诚祝顺利
30楼2016-12-02 19:19:06
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青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
建议可发送到专业版块咨询
31楼2016-12-02 19:19:19
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 !
32楼2016-12-02 19:21:43
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)



CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 !
33楼2016-12-02 19:22:00
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做,可以考虑用厚的正胶,比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

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39楼2016-12-02 19:33:45
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dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:36   回复  
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shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
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ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
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ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
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2016-12-02 19:01   回复  
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piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
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piscine21楼
2016-12-02 19:02   回复  
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2016-12-02 19:03   回复  
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祝福
2016-12-02 19:03   回复  
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假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
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胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
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time8828楼
2016-12-02 19:17   回复  
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祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
2016-12-02 19:22   回复  
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2016-12-02 19:28   回复  
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2016-12-02 19:28   回复  
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tzynew37楼
2016-12-02 19:33   回复  
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tzynew38楼
2016-12-02 19:33   回复  
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seeker9140楼
2016-12-02 19:43   回复  
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seeker9141楼
2016-12-02 19:43   回复  
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50477549044楼
2016-12-02 19:44   回复  
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50477549045楼
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ok 发自小木虫Android客户端
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cewxd48楼
2016-12-02 19:51   回复  
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cewxd49楼
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