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求助光刻做一个1微米厚的电极
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CMR的虫生
银虫
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帖子: 18
在线: 15.1小时
虫号: 2969553
[交流]
求助光刻做一个1微米厚的电极
之前光刻了很多次,用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米,说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神,要做1微米厚的电极该用什么样的方法,光刻版的设计是否需要注意什么?注,电极的宽度仅2微米宽。
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1楼
2016-12-02 17:51:53
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CMR的虫生
银虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
金币: 451
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在线: 15.1小时
虫号: 2969553
求建设性的意见啊。
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5楼
2016-12-02 18:23:23
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脉动心情
12楼
2016-12-02 18:48
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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脉动心情
13楼
2016-12-02 18:48
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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shaybing
14楼
2016-12-02 18:50
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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