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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)

[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。

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1楼 2016-12-02 17:51:53
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科了个研

铁虫 (小有名气)
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

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CMR的虫生
17楼2016-12-02 19:00:20
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嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
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CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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4楼2016-12-02 18:20:59
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
求建设性的意见啊。

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5楼2016-12-02 18:23:23
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嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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8楼2016-12-02 18:34:50
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aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
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10楼2016-12-02 18:36:26
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aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
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11楼2016-12-02 18:36:56
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
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24楼2016-12-02 19:07:01
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胡小虾

主管区长 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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26楼2016-12-02 19:13:47
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青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向，诚祝顺利
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30楼2016-12-02 19:19:06
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青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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31楼2016-12-02 19:19:19
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
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祝 好 ！
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32楼2016-12-02 19:21:43
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zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
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33楼2016-12-02 19:22:00
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

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39楼2016-12-02 19:33:45
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dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
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dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
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tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
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tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
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just1emper9楼
2016-12-02 18:36   回复  
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脉动心情12楼
2016-12-02 18:48   回复  
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脉动心情13楼
2016-12-02 18:48   回复  
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shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
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ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
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ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
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依依久久18楼
2016-12-02 19:01   回复  
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依依久久19楼
2016-12-02 19:01   回复  
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piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
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piscine21楼
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莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03   回复  
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wangcui198423楼
2016-12-02 19:03   回复  
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假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
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胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
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time8828楼
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time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
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莲花如梦34楼
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论文征稿35楼
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论文征稿36楼
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tzynew37楼
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tzynew38楼
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seeker9140楼
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seeker9141楼
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论文征稿142楼
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论文征稿143楼
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50477549044楼
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sz_kebaoyuan46楼
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cewxd48楼
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