| 查看: 2598 | 回复: 70 | |||
[交流]
求助光刻做一个1微米厚的电极
|
|||
|
之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有208人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
辽宁材料实验室高热通量框架复合材料方向招聘科研骨干2名（长期有效）
+5/310
-
柔性电子全国重点实验室（南邮）诚聘博士后（长期有效）
+2/116
-
供应EXAKT德国艾卡特3D打印材料分散用三辊研磨机80E PLUS
+1/80
-
双一流南京医科大学招计算机、AI、统计、生物信息等方向26年9月入学博士
+1/74
-
成会明院士团队｜钱希堂（国家青年人才）招博后啦！二维材料和固态电池
+1/73
-
锌离子混合电容器
+1/72
-
上海科技大学物质科学与技术学院｜王平鸾课题组长期招聘（博后/博硕/科研助理）
+1/71
-
中国科学院大连化学物理研究所-环境催化工程研究组（DNL 902组）事业编外项目聘用人员
+2/46
-
昆士兰科技大学（QUT）博士招生信息 导师：李志勇教授
+1/32
-
香港科技大学显示与光电国家重点实验室招收量子点钙钛矿光电液晶显示方向博士生
+1/31
-
华中农大生物催化组招26年博士：代谢工程、酵母工程、药学、有机、酶工程、计算模拟
+1/30
-
英国布里斯托大学诚招博士生和联合培养生 (近期多个博士奖学金）
+1/12
-
山东理工大学资源与环境工程学院陶东平教授课题组招收2026级博士研究生
+1/10
-
南京邮电大学-材料院尹超教授课题组-诚聘材料、化学、生物医学博士后（长期有效）
+1/9
-
深圳市中西医结合医院博士后招聘【药理学/中药学/天然药物/生物技术】
+1/8
-
山东大学（青岛校区）招博士后（COF\MOF\催化\电池）
+1/7
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/4
-
天津理工大学材料学院陈民芳课题组诚招2026年秋季入学博士生
+1/1
-
澳门科技大学诚招2026年秋季生物材料/药物递送方向博士研究生（全奖）
+1/1
-
澳门科技大学纳米递送系统/生物材料方向招收2026年秋季入学全奖博士研究生
+1/1
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
|
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
CMR的虫生17楼2016-12-02 19:00:20
4楼2016-12-02 18:20:59
5楼2016-12-02 18:23:23
8楼2016-12-02 18:34:50
10楼2016-12-02 18:36:26
11楼2016-12-02 18:36:56
24楼2016-12-02 19:07:01
26楼2016-12-02 19:13:47
30楼2016-12-02 19:19:06
31楼2016-12-02 19:19:19
32楼2016-12-02 19:21:43
33楼2016-12-02 19:22:00
39楼2016-12-02 19:33:45
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:36
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48
回复
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48
回复
shaybing14楼
2016-12-02 18:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54
回复
ajingne116楼
2016-12-02 18:54
回复
依依久久18楼
2016-12-02 19:01
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
！ 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01
回复
piscine20楼
2016-12-02 19:02
回复
piscine21楼
2016-12-02 19:02
回复
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03
回复
假大空25楼
2016-12-02 19:07
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28
回复
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28
回复
tzynew37楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43
回复
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43
回复
50477549044楼
2016-12-02 19:44
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51
回复