应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
711/2返回列表12下一页
查看: 3005  |  回复: 70
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)

[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2016-12-02 17:51:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

科了个研

铁虫 (小有名气)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

CMR的虫生
17楼2016-12-02 19:00:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤
回复此楼
4楼2016-12-02 18:20:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
求建设性的意见啊。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-02 18:23:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤    挤挤
回复此楼
8楼2016-12-02 18:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
10楼2016-12-02 18:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
11楼2016-12-02 18:36:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶顶顶
回复此楼
24楼2016-12-02 19:07:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

胡小虾

主管区长 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
26楼2016-12-02 19:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向，诚祝顺利
赞一下 回复此楼
30楼2016-12-02 19:19:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
建议可发送到专业版块咨询
赞一下 回复此楼
31楼2016-12-02 19:19:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
32楼2016-12-02 19:21:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
33楼2016-12-02 19:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
39楼2016-12-02 19:33:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
just1emper9楼
2016-12-02 18:36   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
依依久久18楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
！ 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine21楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
tzynew37楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
50477549044楼
2016-12-02 19:44   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 CMR的虫生 的主题更新
711/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 投票:  有多少人是今天查系统知道结果的？ +16 爱看书的可乐 2026-08-26 18/900 2026-08-28 17:09 by winsaint
[教师之家] 导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！ +8 苏东坡二世 2026-08-23 8/400 2026-08-28 14:41 by lkforward
[基金申请] 基金不中，共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见（F口面上） +4 gdd2018 2026-08-28 9/450 2026-08-28 14:22 by jklily
[基金申请] 2026年叶企孙基金 +3 bud_bud 2026-08-27 6/300 2026-08-28 11:53 by bud_bud
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[基金申请] 基金未中，这种答复是模板吗？ +5 zhaosm1982 2026-08-27 6/300 2026-08-27 16:00 by lfy8008
[基金申请] 看板上这么多中的，有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +9 炎黄贵胄 2026-08-22 10/500 2026-08-26 15:40 by semaglutide
[基金申请] 2026年8月25日国自然放榜前突然收到列入评审专家邮件，有关系吗？ +25 木水思豆 2026-08-25 28/1400 2026-08-26 14:53 by draco1987
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +23 koalala 2026-08-24 26/1300 2026-08-26 14:29 by 宝贝虫子
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[职场人生] 学生撞见辅导员送外卖，第二天全班都沉默了 +3 鲸鱼融金_浙江_� 2026-08-22 3/150 2026-08-26 09:01 by zzuzxg
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭