| 查看: 2998 | 回复: 70 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[交流]
求助光刻做一个1微米厚的电极
|
||
|
之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼
30楼2016-12-02 19:19:06
5楼2016-12-02 18:23:23
简单回复
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48
回复
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48
回复
shaybing14楼
2016-12-02 18:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
