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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)

[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。

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1楼 2016-12-02 17:51:53
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

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39楼2016-12-02 19:33:45
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
求建设性的意见啊。

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5楼2016-12-02 18:23:23
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脉动心情12楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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脉动心情13楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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