应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
711/2返回列表12下一页
查看: 3006  |  回复: 70
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)

[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2016-12-02 17:51:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

科了个研

铁虫 (小有名气)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

CMR的虫生
17楼2016-12-02 19:00:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤
回复此楼
4楼2016-12-02 18:20:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
求建设性的意见啊。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-02 18:23:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤    挤挤
回复此楼
8楼2016-12-02 18:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
10楼2016-12-02 18:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
11楼2016-12-02 18:36:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶顶顶
回复此楼
24楼2016-12-02 19:07:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

胡小虾

主管区长 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
26楼2016-12-02 19:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向，诚祝顺利
赞一下 回复此楼
30楼2016-12-02 19:19:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
建议可发送到专业版块咨询
赞一下 回复此楼
31楼2016-12-02 19:19:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
32楼2016-12-02 19:21:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
33楼2016-12-02 19:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
39楼2016-12-02 19:33:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
just1emper9楼
2016-12-02 18:36   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
依依久久18楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
！ 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine21楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
tzynew37楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
50477549044楼
2016-12-02 19:44   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 CMR的虫生 的主题更新
711/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 jCd0dEvKHShX 2026-08-29 6/300 2026-08-30 13:54 by GkCVyODlx4mR
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 5/250 2026-08-30 11:52 by l0VvVHGBGRLv
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +8 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 9/450 2026-08-30 11:40 by l0VvVHGBGRLv
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-30 11:18 by l0VvVHGBGRLv
[基金申请] 29号明天会评吗 +3 笨笨唐 2026-08-28 3/150 2026-08-30 09:29 by cww8181
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:39 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:17 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 10/500 2026-08-30 06:11 by ZPa0EcMwuECS
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 8/400 2026-08-30 05:48 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 13/650 2026-08-30 05:38 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗？ +4 349506619 2026-08-28 4/200 2026-08-29 22:41 by alongwaytogo
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高，自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 基金不中，共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 申请删除本帖 +6 lyz123lyz 2026-08-27 7/350 2026-08-27 17:31 by 宁静致远sy
[基金申请] 基金未中，这种答复是模板吗？ +5 zhaosm1982 2026-08-27 6/300 2026-08-27 16:00 by lfy8008
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭