| 查看: 2606 | 回复: 70 | |||
[交流]
求助光刻做一个1微米厚的电极
|
|||
|
之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有58人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
检索报告求助
已经有5人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
南佛罗里达大学化学系刘文奇课题组 2026 Fall 招收有机/超分子方向博士生
+2/922
-
南佛罗里达大学化学系刘文奇课题组 2026 Fall 招收有机/超分子方向博士生
+2/920
-
限广州，征女友
+2/182
-
上海87年GG诚求女友
+1/169
-
南方医科大学发育生物学教研室夏来新教授课题组招收26级博士研究生
+1/86
-
深圳大学张雷教授课题组诚聘博士后
+1/78
-
自驾淄博回四川遂宁过年，寻找小伙伴一起
+1/66
-
西交利物浦大学黄彪院士招收26年全奖博士生1名（工业智能方向）
+1/32
-
2026湖南科技大学化学化工学院招新能源电池方向博士生
+1/30
-
求奥希替尼生产工艺
+1/29
-
论文投稿散金祈愿-电机学报
+2/28
-
学生申博
+1/21
-
中国地质大学（武汉）分析地球化学团队招收博士生1名、硕士生3名
+2/12
-
杨亚研究员课题组（广西大学-纳米能源研究中心）招收2026年物理学专业学术型博士
+1/7
-
华南理工大学宋波教授招收2026年博士生（二氧化碳转化方向优先）
+1/6
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/5
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/5
-
南开大学齐迹课题组诚聘分子生物学、免疫学、有机分子合成相关方向的博士后和研究生
+1/4
-
换工作
+1/2
-
标准求助 SN/T 5263-2020悬赏10个金币
+1/2
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
|
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
CMR的虫生17楼2016-12-02 19:00:20
4楼2016-12-02 18:20:59
5楼2016-12-02 18:23:23
8楼2016-12-02 18:34:50
10楼2016-12-02 18:36:26
11楼2016-12-02 18:36:56
24楼2016-12-02 19:07:01
26楼2016-12-02 19:13:47
30楼2016-12-02 19:19:06
31楼2016-12-02 19:19:19
32楼2016-12-02 19:21:43
33楼2016-12-02 19:22:00
39楼2016-12-02 19:33:45
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:36
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48
回复
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48
回复
shaybing14楼
2016-12-02 18:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54
回复
ajingne116楼
2016-12-02 18:54
回复
依依久久18楼
2016-12-02 19:01
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
！ 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01
回复
piscine20楼
2016-12-02 19:02
回复
piscine21楼
2016-12-02 19:02
回复
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03
回复
假大空25楼
2016-12-02 19:07
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28
回复
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28
回复
tzynew37楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43
回复
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43
回复
50477549044楼
2016-12-02 19:44
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51
回复