| 查看: 2667 | 回复: 70 | |||
[交流]
求助光刻做一个1微米厚的电极
|
|||
|
之前光刻了很多次,用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米,说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神,要做1微米厚的电极该用什么样的方法,光刻版的设计是否需要注意什么?注,电极的宽度仅2微米宽。 发自小木虫IOS客户端 |
» 猜你喜欢
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
求调剂
已经有3人回复
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有131人回复
化工学院(学院正式调剂群+联系方式)
已经有0人回复
化工学院(学院官方群)-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
武汉高校国家级人才团队招收材料,化学,纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
纺大化工学院(官方群)-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 抢金币啦!回帖就可以得到:
山东建筑大学材料类研究生招生调剂
+3/197
耐热氧化耐热黄变效果好的聚醚多元醇制备的聚氨酯都有哪些潜在应用领域?
+2/162
山东建筑大学 (市政与环境工程学院)硕士研究生招生啦 静电纺丝纤维与盐水分离应用
+1/88
江南大学招收具有3年海外博后经历的青年教师
+1/80
[b]【材料表征】成分含量丨微观形貌丨分子结构丨材料加工丨预存服务[/b]
+1/72
重庆交通大学院士团队招收材料、能源动力专业硕士研究生
+2/50
2026延安大学设施蔬菜环境调控与分子机制研究团队团队招收相关专业调剂研究生
+1/45
西京学院土木水利 2026 级研究生招生
+2/44
福建农林大学材料院招收调剂硕士生
+1/37
双一流湘潭大学化工学院招收化工、能源动力、工程热物理相关研究生调剂
+1/14
苏州初创公司诚聘有机合成化学家
+1/12
中国地震局地质研究所+地球物理专业+接收调剂
+1/11
☆ ☆ 中山大学附属第七医院肖芷洁课题组诚招分子医学方向硕士生(调剂生) ☆ ☆
+1/8
【水文、水质模拟】香港科技大学(广州)博士后招聘
+1/6
中国科学院上海硅酸盐研究所招聘科研助理(纳米材料与生物应用方向)
+1/5
Top-88悉尼科技大学数据科学/AI 招收2027年入学 校奖 博士生1到2名(国际和本地学生)
+1/5
天津医科大学基础医学院张恒课题组博士后招聘
+1/4
0854工学-电子信息考研-302分求调剂,接受跨专业,只求有学上!!! ! ! ! !
+1/4
南医大基础医学院招收调剂生(2生信1生物))
+1/3
【官方】西京学院2026年硕士研究生招生调剂公告发布,11个专业,A区线上即可
+1/2
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
|
这么小的深宽比确实不好做,可以考虑用厚的正胶,比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟 发自小木虫IOS客户端 |
» 本帖已获得的红花(最新10朵)
17楼2016-12-02 19:00:20
4楼2016-12-02 18:20:59
5楼2016-12-02 18:23:23
8楼2016-12-02 18:34:50
10楼2016-12-02 18:36:26
11楼2016-12-02 18:36:56
24楼2016-12-02 19:07:01
26楼2016-12-02 19:13:47
30楼2016-12-02 19:19:06
31楼2016-12-02 19:19:19
32楼2016-12-02 19:21:43
33楼2016-12-02 19:22:00
39楼2016-12-02 19:33:45
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
2016-12-02 18:36
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48
回复
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48
回复
shaybing14楼
2016-12-02 18:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54
回复
ajingne116楼
2016-12-02 18:54
回复
依依久久18楼
2016-12-02 19:01
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
! 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01
回复
piscine20楼
2016-12-02 19:02
回复
piscine21楼
2016-12-02 19:02
回复
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03
回复
假大空25楼
2016-12-02 19:07
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与


胡小虾27楼
2016-12-02 19:13
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28
回复
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28
回复
tzynew37楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43
回复
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43
回复
50477549044楼
2016-12-02 19:44
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51
回复
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与

sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51
回复














回复此楼
CMR的虫生
