应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助光刻做一个1微米厚的电极
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
711/2返回列表12下一页
查看: 2679  |  回复: 70
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)

[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次，用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米，说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神，要做1微米厚的电极该用什么样的方法，光刻版的设计是否需要注意什么？注，电极的宽度仅2微米宽。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2016-12-02 17:51:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

科了个研

铁虫 (小有名气)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

CMR的虫生
17楼2016-12-02 19:00:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤
回复此楼
4楼2016-12-02 18:20:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
求建设性的意见啊。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2016-12-02 18:23:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

嘻哈嘻哈嘿嘿

木虫 (著名写手)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
挤挤    挤挤
回复此楼
8楼2016-12-02 18:34:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
10楼2016-12-02 18:36:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aa213aa213

木虫 (职业作家)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
、、
回复此楼
11楼2016-12-02 18:36:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶顶顶
回复此楼
24楼2016-12-02 19:07:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

胡小虾

主管区长 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
帮顶
回复此楼
26楼2016-12-02 19:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
不了解这个方向，诚祝顺利
赞一下 回复此楼
30楼2016-12-02 19:19:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

青云丹鹤

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
建议可发送到专业版块咨询
赞一下 回复此楼
31楼2016-12-02 19:19:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
32楼2016-12-02 19:21:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zuiaixuexi

至尊木虫 (文坛精英)
★
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝 好 ！
回复此楼
33楼2016-12-02 19:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

CMR的虫生

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by 科了个研 at 2016-12-02 19:00:20
这么小的深宽比确实不好做，可以考虑用厚的正胶，比如10um左右的。另外剥离前可以考虑用低于光刻胶烘烤温度的温度加热几分钟

谢谢你的建议。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
39楼2016-12-02 19:33:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
dsctg2楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
dsctg3楼
2016-12-02 17:55   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9146楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tan9147楼
2016-12-02 18:27   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
just1emper9楼
2016-12-02 18:36   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
脉动心情12楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
脉动心情13楼
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
顶 发自小木虫IOS客户端
ajingne115楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
ajingne116楼
2016-12-02 18:54   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
依依久久18楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
！ 发自小木虫Android客户端
依依久久19楼
2016-12-02 19:01   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine20楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
piscine21楼
2016-12-02 19:02   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
莲花如梦22楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
wangcui198423楼
2016-12-02 19:03   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
假大空25楼
2016-12-02 19:07   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
胡小虾27楼
2016-12-02 19:13   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8828楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
time8829楼
2016-12-02 19:17   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
祝福
莲花如梦34楼
2016-12-02 19:22   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
论文征稿35楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿36楼
2016-12-02 19:28   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
tzynew37楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
tzynew38楼
2016-12-02 19:33   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
seeker9140楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
seeker9141楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
论文征稿142楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
论文征稿143楼
2016-12-02 19:43   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
50477549044楼
2016-12-02 19:44   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
50477549045楼
2016-12-02 19:45   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
ok 发自小木虫Android客户端
sz_kebaoyuan46楼
2016-12-02 19:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan47楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd48楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
cewxd49楼
2016-12-02 19:51   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
sz_kebaoyuan50楼
2016-12-02 19:51   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 CMR的虫生 的主题更新
711/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 349求调剂 +6 杰斯塔里斯 2026-03-21 6/300 2026-03-28 13:12 by 唐沐儿
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +8 邱gl 2026-03-27 8/400 2026-03-28 12:42 by 唐沐儿
[考研] 0703化学求调剂，各位老师看看我！！！ +5 祁祺祺 2026-03-25 5/250 2026-03-27 21:44 by 东方猪猪
[考博] 26申博 +3 加油冲啊！ 2026-03-26 3/150 2026-03-27 15:38 by cls512
[考研] 22408 359分调剂 +3 Qshers 2026-03-27 3/150 2026-03-27 12:22 by wxiongid
[考研] 求调剂 +6 林之夕 2026-03-24 6/300 2026-03-27 08:38 by hypershenger
[考研] 325求调剂 +5 李嘉图·S·路 2026-03-23 5/250 2026-03-27 00:42 by wxiongid
[考研] 生物学 296 求调剂 +4 朵朵- 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:01 by 不吃魚的貓
[考研] 081700 调剂 267分 +11 迷人的哈哈 2026-03-23 11/550 2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 一志愿河工大 081700 276求调剂 +4 地球绕着太阳转 2026-03-23 4/200 2026-03-26 14:27 by zzll406
[考研] 寻找调剂 +5 倔强芒? 2026-03-21 8/400 2026-03-26 13:25 by 0906ljy
[考研] 机械学硕总分317求调剂！！！！ +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 296求调剂 +4 汪！？！ 2026-03-25 7/350 2026-03-25 16:41 by 汪！？！
[考研] 化工专硕求调剂 +3 question挽风 2026-03-24 3/150 2026-03-24 18:48 by jhhcooi
[考研] 求调剂 +6 研研，接电话 2026-03-24 7/350 2026-03-24 17:01 by barlinike
[考研] 一志愿南航材料专317分求调剂 +5 炸呀炸呀炸薯条 2026-03-23 5/250 2026-03-24 16:52 by 星空星月
[考研] 384求调剂 +3 子系博 2026-03-22 6/300 2026-03-23 21:45 by 子系博
[考研] 333求调剂 +3 ALULU4408 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:04 by macy2011
[论文投稿] 急发核心期刊论文 +3 贤达问津 2026-03-23 5/250 2026-03-23 17:13 by 妹子不好惹
[考研] 石河子大学（211、双一流）硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭