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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


[交流] 求助光刻做一个1微米厚的电极

之前光刻了很多次,用正胶剥离法加电子束蒸发制备的电极金属层厚度约为100纳米。现在需要做的电极厚度1微米,说金属膜太厚无法剥离。求问光刻的大神,要做1微米厚的电极该用什么样的方法,光刻版的设计是否需要注意什么?注,电极的宽度仅2微米宽。

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强哥哥哥

新虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
还有用溅射做吧,蒸发的腔体温度太高,对胶影响也很大

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67楼2016-12-02 20:16:49
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CMR的虫生

银虫 (初入文坛)


5楼2016-12-02 18:23:23
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简单回复
2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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2016-12-02 18:48   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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shaybing14楼
2016-12-02 18:50   回复  
CMR的虫生(金币+5): 谢谢参与
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