| 查看: 4051 | 回复: 8 | ||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||
lwb870525木虫 (著名写手)
|
[求助]
射频磁控溅射中的靶材自偏压是怎么形成的？（假如放电气体为Ar） 已有4人参与
|
|||
|
要沉积薄膜的基底放在阳极，靶材放在阴极。当射频电源在两电极间加上电场后： 1、射频电源在正周期提供的电场，使得Ar+向靶材（阴极）加速运动并撞击靶材，与此同时电子向基底（方向）运动，但是由于靶材背面的磁场的洛伦兹力作用，其被限制在了靶材表面附近，提高了等离子体的密度； 2、射频电场在负周期时，阳极和阴极两电极的电场方向发生变化，Ar+会减速向靶材运动，而电子则会加速向靶材（阴极）运动。 以上关于射频电场周期性变化时，Ar+和电子在两电极间的运动描述，是不是对的？ 靶材的自偏压又是如何形成的？ 请大神解释下，谢谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
311求调剂
已经有4人回复
-
304求调剂
已经有4人回复
-
354求调剂
已经有7人回复
-
321求调剂
已经有3人回复
-
274求调剂
已经有5人回复
-
281求调剂（0805）
已经有15人回复
-
085600材料与化工调剂 324分
已经有8人回复
-
能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名
已经有10人回复
-
267一志愿南京工业大学0817化工求调剂
已经有8人回复
-
328求调剂，英语六级551，有科研经历
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射分为哪几种电源？是不是电源电离惰性气体产生等离子的？
已经有0人回复
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- 磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗
已经有4人回复
- 磁控溅射主室的直流和射频能自己控制吗
已经有2人回复
- 射频溅射ZnO/Si异质结太阳能电池的问题
已经有3人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 【求助】关于射频磁控溅射镀膜问题
已经有5人回复
- 【求助】ZnO的磁控溅射
已经有3人回复
- 【交流】磁控溅射中如何避免mask(靶材支架和挡板）被溅射
已经有13人回复
- 【交流】磁控溅射中阳极罩与靶材之间的距离选择
已经有11人回复
baiyulong_
木虫 (正式写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 7238.4
- 红花: 2
- 帖子: 920
- 在线: 92.5小时
- 虫号: 3197818
- 注册: 2014-05-11
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2016-05-02 13:26:58
guxue
专家顾问 (知名作家)
学习使人进步
-
专家经验: +1781 - FPI: 3
- 应助: 2372 (讲师)
- 贵宾: 1.086
- 金币: 40799.9
- 散金: 102
- 红花: 158
- 帖子: 6485
- 在线: 609.7小时
- 虫号: 538944
- 注册: 2008-04-03
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 无机非金属
2楼2016-05-02 10:21:44
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2016-05-02 11:26:30
lwb870525
木虫 (著名写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2219.2
- 散金: 753
- 红花: 16
- 帖子: 2034
- 在线: 586.7小时
- 虫号: 934457
- 注册: 2009-12-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2016-05-02 19:00:26
