应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射中的靶材自偏压是怎么形成的？（假如放电气体为Ar）
91/1返回列表
查看: 4576  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 射频磁控溅射中的靶材自偏压是怎么形成的？（假如放电气体为Ar） 已有4人参与

要沉积薄膜的基底放在阳极，靶材放在阴极。当射频电源在两电极间加上电场后：
1、射频电源在正周期提供的电场，使得Ar+向靶材（阴极）加速运动并撞击靶材，与此同时电子向基底（方向）运动，但是由于靶材背面的磁场的洛伦兹力作用，其被限制在了靶材表面附近，提高了等离子体的密度；
2、射频电场在负周期时，阳极和阴极两电极的电场方向发生变化，Ar+会减速向靶材运动，而电子则会加速向靶材（阴极）运动。

以上关于射频电场周期性变化时，Ar+和电子在两电极间的运动描述，是不是对的？  

靶材的自偏压又是如何形成的？

请大神解释下，谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
1楼 2016-05-01 23:28:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lwb870525: 金币+3, ★有帮助, 谢谢您的参与 2016-05-02 18:59:57
在洛伦兹力的作用下，正负电荷积聚在衬底的两端，从而形成偏压。
赞一下 回复此楼
青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-05-02 10:21:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lwb870525: 金币+3, ★有帮助, 谢谢 2016-05-02 19:00:08
解释起来非常长，可以参考有关书籍。
简单说就是等离子体中离子的质量远远大于电子的质量，在RF交互电场中电子移除速度快于离子移动速度，因而形成一个内建电场，产生自偏压。
赞一下 回复此楼
3楼2016-05-02 11:26:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

baiyulong_

木虫 (正式写手)
有偏压才有辉光

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2016-05-02 13:26:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lwb870525

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by baiyulong_ at 2016-05-02 13:26:58
有偏压才有辉光

这个我也知道啊
回复此楼
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
5楼2016-05-02 19:00:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

baiyulong_

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by lwb870525 at 2016-05-02 19:00:26
这个我也知道啊...

你是调不出偏压，还是什么情况？你用的功率多大，正向是多少，反向是多少？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-05-03 06:55:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cldegg

铜虫 (小有名气)
好像是电子比离子质量不一，在相同电场下，速度不同，导致靶表面有电荷积累，产生偏压壳层。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
walking
7楼2016-05-06 18:51:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangdi2015

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

假定给靶加上矩形波电压V，在电压的正半周（靶材为正电压），由于靶材为绝缘体的极化作用，表面很快吸引了等离子体中位于绝缘体表面的电子，致使表面与等离子体电位相同。在电压的负半周，靶材电位为负，正离子对绝缘体靶进行溅射，由于离子质量远大于电子质量，因此靶电位上升比电子充电过程缓慢。到了下个周期重复以上过程，总的效果就是在靶表面加了一个负偏压。
赞一下 回复此楼
8楼2016-06-22 20:34:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)
不好意思，这个之前没遇到
赞一下 回复此楼
9楼2016-11-29 18:04:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 lwb870525 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 10/500 2026-11-09 08:00 by IhnEQauGmT3K
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 06:43 by l48hFd8Nwae2
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 06:39 by l48hFd8Nwae2
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 2rKfVQg2jQww 2026-11-06 11/550 2026-11-09 00:26 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 8/400 2026-11-08 23:01 by l48hFd8Nwae2
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +8 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 23/1150 2026-11-07 06:49 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 7/350 2026-11-06 16:43 by 5sJFDKp2kwuI
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 8/400 2026-11-06 16:34 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:32 by 5sJFDKp2kwuI
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 14/700 2026-11-06 16:32 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +7 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 17/850 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +8 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 18/900 2026-11-06 13:36 by BkA9Bi5cMhkD
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 5/250 2026-11-06 09:01 by 2lRNluKrJpwL
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:42 by qL1cU46YIdK0
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 12/600 2026-11-05 11:10 by PYZmcHr5kSaq
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭