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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 射频磁控溅射中的靶材自偏压是怎么形成的？（假如放电气体为Ar）
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lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 射频磁控溅射中的靶材自偏压是怎么形成的？（假如放电气体为Ar） 已有4人参与

要沉积薄膜的基底放在阳极，靶材放在阴极。当射频电源在两电极间加上电场后：
1、射频电源在正周期提供的电场，使得Ar+向靶材（阴极）加速运动并撞击靶材，与此同时电子向基底（方向）运动，但是由于靶材背面的磁场的洛伦兹力作用，其被限制在了靶材表面附近，提高了等离子体的密度；
2、射频电场在负周期时，阳极和阴极两电极的电场方向发生变化，Ar+会减速向靶材运动，而电子则会加速向靶材（阴极）运动。

以上关于射频电场周期性变化时，Ar+和电子在两电极间的运动描述，是不是对的？  

靶材的自偏压又是如何形成的？

请大神解释下，谢谢！
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1楼 2016-05-01 23:28:16
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lwb870525: 金币+3, ★有帮助, 谢谢您的参与 2016-05-02 18:59:57
在洛伦兹力的作用下，正负电荷积聚在衬底的两端，从而形成偏压。
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青出于蓝而胜于蓝
2楼2016-05-02 10:21:44
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lwb870525: 金币+3, ★有帮助, 谢谢 2016-05-02 19:00:08
解释起来非常长，可以参考有关书籍。
简单说就是等离子体中离子的质量远远大于电子的质量，在RF交互电场中电子移除速度快于离子移动速度，因而形成一个内建电场，产生自偏压。
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3楼2016-05-02 11:26:30
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baiyulong_

木虫 (正式写手)
有偏压才有辉光

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4楼2016-05-02 13:26:58
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lwb870525

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by baiyulong_ at 2016-05-02 13:26:58
有偏压才有辉光

这个我也知道啊
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
5楼2016-05-02 19:00:26
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baiyulong_

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
5楼: Originally posted by lwb870525 at 2016-05-02 19:00:26
这个我也知道啊...

你是调不出偏压，还是什么情况？你用的功率多大，正向是多少，反向是多少？

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6楼2016-05-03 06:55:37
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cldegg

铜虫 (小有名气)
好像是电子比离子质量不一，在相同电场下，速度不同，导致靶表面有电荷积累，产生偏压壳层。

发自小木虫Android客户端
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walking
7楼2016-05-06 18:51:37
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zhangdi2015

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

假定给靶加上矩形波电压V，在电压的正半周（靶材为正电压），由于靶材为绝缘体的极化作用，表面很快吸引了等离子体中位于绝缘体表面的电子，致使表面与等离子体电位相同。在电压的负半周，靶材电位为负，正离子对绝缘体靶进行溅射，由于离子质量远大于电子质量，因此靶电位上升比电子充电过程缓慢。到了下个周期重复以上过程，总的效果就是在靶表面加了一个负偏压。
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8楼2016-06-22 20:34:53
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北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)
不好意思，这个之前没遇到
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9楼2016-11-29 18:04:45
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