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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品?大家是怎样切割的,请发的详细些。谢谢回复!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硅片的话很容易啊。按照解理面裂开就好。
如果不是硅片,那你要告诉我什么材料,刻蚀结构是啥样的
6楼2015-12-25 12:34:02
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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15楼2015-12-25 20:41:33
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
上面有幾樓說的直接接觸切割㑹嚴重破壞斷面完整,萬萬不可取。
要利用晶片單晶的破壞走向可控性,在邊緣製造一個晶格缺陷,然後略為施加應力。
晶片就會沿著晶格方向裂開。

至於 Ar ion beam,不是每一台 SEM都有。
至少以前我是沒得用。
而且因為傾斜角的問題,Y方向長度㑹比較不好量測。
另外就是樣品一定要鍍金。
切得好的樣品,不鍍金只要手快,也是可以作 SEM的。
17楼2015-12-25 20:45:39
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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19?: Originally posted by ????????? at 2015-12-25 22:20:36
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20楼2015-12-25 23:08:22
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木有一只

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
显微镜下切,两刀,先在靠近图形区域切一刀,然后切图形区域。当然前提是你图形刚好沿着晶向排列,金刚刀划一个小口,下面垫着载玻片,轻轻一压就可以了。
SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品



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24楼2015-12-26 01:13:47
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普通回帖

jhwang2010

银虫 (正式写手)

2楼2015-12-24 22:28:38
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491406219

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

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just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

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4楼2015-12-25 09:26:29
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 491406219 at 2015-12-25 00:14:16
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

是的!但是刻蚀后怎样观察图形的横截面是个麻烦事。

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5楼2015-12-25 09:27:43
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-25 12:34:02
硅片的话很容易啊。按照解理面裂开就好。
如果不是硅片,那你要告诉我什么材料,刻蚀结构是啥样的

是硅片上有铁电材料。

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7楼2015-12-25 14:37:34
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-12-25 14:37:34
是硅片上有铁电材料。
...

铁电材料PZT 图形大小100um,调整了不同的刻蚀角度,想看刻蚀侧壁的陡直度情况。
SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品-1
5th(30度) 300nm 刻蚀洗胶(600V,100mA,10min)后 a(100倍)物镜.jpg

8楼2015-12-25 14:45:36
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阆苑村夫

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主在FPC行业?

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9楼2015-12-25 15:06:06
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竹溪云逸

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果是在100的硅片上,找准位置直接用金刚笔切断就行啊

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10楼2015-12-25 15:19:08
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