应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品
282/3返回列表上一页123下一页
查看: 2473  |  回复: 27
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 竹溪云逸 at 2015-12-25 15:19:08
如果是在100的硅片上，找准位置直接用金刚笔切断就行啊

这样试过，不怎么好！

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
11楼2015-12-25 19:41:33
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 阆苑村夫 at 2015-12-25 15:06:06
楼主在FPC行业？

没有呢！

发自小木虫Android客户端
回复此楼
12楼2015-12-25 19:41:44
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jhwang2010

银虫 (正式写手)
那就用FIB吧

发自小木虫Android客户端
回复此楼
13楼2015-12-25 20:22:26
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

晴天安好

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我试过切开在STO上的PZT.用玻璃刀划开，按解理面掰开，你是刻蚀台阶？做他的什么研究啊，可以交流一下吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
14楼2015-12-25 20:35:10
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
這個我幹過很多次了。
在 wafer 下方 notch附近，以�?石刀筆（其�?可能是鎢鋼頭）很快用力�?一缺口。
然後用縫衣針（最好用膠固定在紙板之�?上面）墊在 wafer背後，
notch 在下方，保持縫衣針縱向。略為露出一頭，對準剛剛�?出的缺口。
放在桌上輕輕施加壓力，wafer㑹由缺口沿著縫衣針烈出一條漂亮筆直的列線。
以上所述，缺口的位置決定縱向裂線 x位置。

以上動作熟練者可以用手“撕”開，初學者不建議…
赞一下(1人) 回复此楼
15楼2015-12-25 20:41:33
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

longseaker

捐助贵宾 (小有名气)
Cp可以

发自小木虫Android客户端
回复此楼
16楼2015-12-25 20:43:35
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
上面有幾樓說的直接接觸切割㑹嚴重破壞斷面完整，萬萬不可取。
要利用晶片單晶的破壞走向可控性，在邊緣製造一個晶格缺陷，然後略為施加應力。
晶片就會沿著晶格方向裂開。

至於 Ar ion beam，不是每一台 SEM都有。
至少以前我是沒得用。
而且因為傾斜角的問題，Y方向長度㑹比較不好量測。
另外就是樣品一定要鍍金。
切得好的樣品，不鍍金只要手快，也是可以作 SEM的。
赞一下(1人) 回复此楼
17楼2015-12-25 20:45:39
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 晴天安好 at 2015-12-25 20:35:10
我试过切开在STO上的PZT.用玻璃刀划开，按解理面掰开，你是刻蚀台阶？做他的什么研究啊，可以交流一下吗？

可以的！

发自小木虫Android客户端
回复此楼
18楼2015-12-25 22:19:40
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by jedi-j at 2015-12-25 20:45:39
上面有幾樓說的直接接觸切割㑹嚴重破壞斷面完整，萬萬不可取。
要利用晶片單晶的破壞走向可控性，在邊緣製造一個晶格缺陷，然後略為施加應力。
晶片就會沿著晶格方向裂開。

至於 Ay ion beam，不是每一台 ...

谢谢，你很了解，希望后续能多交流！

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
19楼2015-12-25 22:20:36
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
19楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-12-25 22:20:36
谢谢，你很了解，希望后续能多交流！
...

建議照我十五樓說的作。
台灣半導體?S或是分析�?驗室的 SEM操作員大抵都是這樣做。
可以切出斷面無接觸損傷的 約 2x5 mm樣品切片

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
20楼2015-12-25 23:08:22
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 勿忘心安里 的主题更新
282/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭