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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面，怎样切割样品？大家是怎样切割的，请发的详细些。谢谢回复！
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1楼 2015-12-24 21:09:11
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竹溪云逸

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果是在100的硅片上，找准位置直接用金刚笔切断就行啊

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10楼2015-12-25 15:19:08
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jhwang2010

银虫 (正式写手)
线切割

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2楼2015-12-24 22:28:38
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491406219

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀，好的仪器自带刻蚀功能，表面刻蚀后再扫描观察表面。

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just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

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4楼2015-12-25 09:26:29
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