24小时热门版块排行榜    

查看: 2946  |  回复: 27

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品?大家是怎样切割的,请发的详细些。谢谢回复!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
硅片的话很容易啊。按照解理面裂开就好。
如果不是硅片,那你要告诉我什么材料,刻蚀结构是啥样的
6楼2015-12-25 12:34:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
?@??????^???????
?? wafer ?·? notch??????????????P????????????u??^????????????????
?????p??????????z??????????????棩?|?? wafer????
notch ???·???????p???v??????????^???????????????????
?????????p?p????????wafer㑹??????????p????????l????P????о???
??????????????λ??Q???v????? xλ?á?

???τ???????????????????_?????W??????h??
15楼2015-12-25 20:41:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
上面有幾樓說的直接接觸切割㑹嚴重破壞斷面完整,萬萬不可取。
要利用晶片單晶的破壞走向可控性,在邊緣製造一個晶格缺陷,然後略為施加應力。
晶片就會沿著晶格方向裂開。

至於 Ar ion beam,不是每一台 SEM都有。
至少以前我是沒得用。
而且因為傾斜角的問題,Y方向長度㑹比較不好量測。
另外就是樣品一定要鍍金。
切得好的樣品,不鍍金只要手快,也是可以作 SEM的。
17楼2015-12-25 20:45:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
???????:
19?: Originally posted by ????????? at 2015-12-25 22:20:36
лл??????????????????????
...

???h?????????f??????
??????w?S????????????? SEM?????T???????@??????
?????г?????o???|?p???? ?s 2x5 mm??????

????С???Android?????
20楼2015-12-25 23:08:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

木有一只

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
显微镜下切,两刀,先在靠近图形区域切一刀,然后切图形区域。当然前提是你图形刚好沿着晶向排列,金刚刀划一个小口,下面垫着载玻片,轻轻一压就可以了。
SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品



发自小木虫Android客户端
24楼2015-12-26 01:13:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

jhwang2010

银虫 (正式写手)

2楼2015-12-24 22:28:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

491406219

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

发自小木虫Android客户端
just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-25 09:26:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 491406219 at 2015-12-25 00:14:16
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

是的!但是刻蚀后怎样观察图形的横截面是个麻烦事。

发自小木虫Android客户端
5楼2015-12-25 09:27:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-25 12:34:02
硅片的话很容易啊。按照解理面裂开就好。
如果不是硅片,那你要告诉我什么材料,刻蚀结构是啥样的

是硅片上有铁电材料。

发自小木虫Android客户端
7楼2015-12-25 14:37:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-12-25 14:37:34
是硅片上有铁电材料。
...

铁电材料PZT 图形大小100um,调整了不同的刻蚀角度,想看刻蚀侧壁的陡直度情况。
SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品-1
5th(30度) 300nm 刻蚀洗胶(600V,100mA,10min)后 a(100倍)物镜.jpg

8楼2015-12-25 14:45:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

阆苑村夫

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主在FPC行业?

发自小木虫Android客户端
9楼2015-12-25 15:06:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹溪云逸

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果是在100的硅片上,找准位置直接用金刚笔切断就行啊

发自小木虫Android客户端
10楼2015-12-25 15:19:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 勿忘心安里 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否 +6 启萌科技 2026-08-12 21/1050 2026-08-14 19:48 by 启萌科技
[基金申请] filecode +6 cratir 2026-08-14 10/500 2026-08-14 18:29 by 笑叹辞穷
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[论文投稿] 职称评审,求友友推荐见刊最快的期刊 +5 工厂打螺丝 2026-08-08 5/250 2026-08-14 11:03 by 玖戈弋
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +10 Tide man 2026-08-10 11/550 2026-08-14 10:30 by 沁言学术
[硕博家园] 读博的好处 +4 lnee 2026-08-11 4/200 2026-08-14 10:20 by ahsoarli
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +9 majunge000 2026-08-10 12/600 2026-08-13 23:20 by iwuli
[文学芳草园] 阿姨 +4 汪汪锅 2026-08-09 4/200 2026-08-13 19:43 by arzu_hma
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见